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拋光液

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細(xì)

我公司系列硅溶膠產(chǎn)品均是以高純硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品,廣泛用于多種材料納米級(jí)的高平坦化拋光,如:硅晶圓片、鍺片、化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵、磷化銦,精密光學(xué)器件、藍(lán)寶石片等的拋光加工。具有應(yīng)用領(lǐng)域廣、拋光效率高、雜質(zhì)含量低、拋光后容易清洗等特點(diǎn)。如:硅片、化合物晶體、精密光學(xué)器件、寶石等的拋光加工??缮a(chǎn)不同粒度(10~150 nm)的產(chǎn)品滿足用戶需求。根據(jù)pH值的不同可分為酸性拋光液和堿性拋光液。 產(chǎn)品的特點(diǎn): 1. 高拋光速率,利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達(dá)到高速拋光的目的(可以生產(chǎn)150 nm) 2. 粒度可控,根據(jù)不同需要,可生產(chǎn)不同粒度的產(chǎn)品(10-150 nm) 3. 高純度(Cu2+含量小于50 ppb),有效減小對(duì)電子類產(chǎn)品的沾污 4. 高平坦度加工,本品拋光是利用SiO2的膠體粒子,不會(huì)對(duì)加工件造成物理?yè)p傷,達(dá)到高平坦化加工

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