<p>前國內(nèi)供半導(dǎo)體生產(chǎn)用的石英玻璃產(chǎn)品，就其純度而言，大體分為兩個品種，一個是以天然水晶為原料熔制而成的產(chǎn)品，它的雜志含量（指al、fe、ca、mg、ti、ni、cu、co、mn、b、k、na、li等十三種雜志元素的總和）一般均在50ppm以下，另一種是用高純合成原料（如sicl4等）經(jīng)高溫水解熔制而成的產(chǎn)品，它的化學(xué)純度很高，十三個雜質(zhì)元素的總含量一般均不超過2ppm，但它的價格昂貴，較大的缺點是軟化點較水晶制品低80度左右，用它制造的坩堝和擴散管在使用過程中容易變形。為了滿足半導(dǎo)體工業(yè)對石英玻璃產(chǎn)品質(zhì)量的需要，充分利用水晶制品成本低，軟化點高，和合成石英純度高的特點，我們研制成功了〈高純合成石英涂層石英玻璃產(chǎn)品〉，它是在水晶制石英玻璃的內(nèi)壁用高溫噴涂的工藝方法，涂上一層高純合成石英玻璃。如此制得的產(chǎn)品同時具有兩種石英玻璃產(chǎn)品的優(yōu)點。</p>