轉臺式曝光機規(guī)格書 設備持點：高精度自動臺板三針式自動對位CCD鏡頭自動輸送系統(tǒng)可連線曝光模式可選擇輕接觸式Soft-contact mode /近距離曝光式Proximity mode 輸送玻璃以膠輪帶動本裝置配有單光源系統(tǒng) 基本規(guī)格：處理基板材料：已涂膠玻璃尺寸：14″×16″ 玻璃厚度ｔ＝0.4～1.1mm烙板（Mask）材料：可透過紫外光線玻璃。尺寸：14″×16″×5mmt 基本指標： 電源：本體及單光源兩系統(tǒng)本體：3相，220V，15A，60Hz單光源：3相，220V，40A，60Hz 壓縮空氣(C.D.A)：0.5Mpa，400nl/min 熱排氣：15m³/min 真空：－0.08Mpa，60nl/min 機房要能承受500kg/m³以上重量。裝置外觀：本體：2000×1055 ×1820mm 本體加單光源：2000×1635 ×2200mm 重量：本體：500kg，光源：300kg，合計：800kg