主要配置 標刻速度：4000mm/s 定位速度：10000mm/s 跟蹤誤差：0.25ms 非線性度：<3.5mrad/44° 重復(fù)精度：<8μrad 1%全行程：≤0.4ms 增益漂移：<50ppm/K 零位漂移：<15μrad/K 8小時漂移：<0.3mrad 掃描角度：±0.35rad 鏡片光斑：10mm 通訊協(xié)議：XY2-100 供電電源：±15V DC，3A 工作溫度：25℃±10℃ 波長：1064nm、532nm、355nm 擴束比：1.4、1.4、3 入射光斑：7mm、7mm、3mm 變焦范圍：光纖 ±30mm(搭配 F254-174場鏡數(shù)據(jù))                 綠光 ±7mm(搭配F165-115場鏡數(shù)據(jù))                 紫外 ±15mm(搭配F254-175場鏡數(shù)據(jù)) 加工幅面：150(可更換場鏡)                 100(可更換場鏡)                 150(可更換場鏡)   典型應(yīng)用 G3-3D振鏡可用于模具加工、曲面標刻、浮雕、深雕、表面處理等。